-
IC'ler ve MEMS için Yüksek Hızlı SOI Gofretleri Düşük Güçlü Yalıtkan Silikonİnce bir silikon tabakasının yalıtkan bir alt tabaka üzerine oturduğu yalıtkan üzerinde silikon olan SOI levhaları, mikroelektronikte yaygın olarak benimsenen ve fotonik ve bilimde ortaya çıkan, kapasitansı ve kaçak akımı azaltarak ve anahtarlama hızlarını artırarak yüksek hızlı, düşük güçte çalışmayı mümkün kılar. MEMS.